SPOS

 

 

GBS의 Smart WLI는 전통적인 WLI 방식에서의 가장 큰 한계였던 진동 문제를
특수 GPU를 이용한 고속 데이터 처리로 극복한 광학식 현미경 센서입니다.

 

compact_세계 최고 수준의 고분해능 센서

■ 반도체/슈퍼피니싱 렌즈 표면 검사에 최적화된 센서
■ 높은 콘트라스트와 세계 최고 수준의 0.03nm 초고해상도
■ 높은 민감도와 넓은 스펙트럼의 컨포컬 이미징

 

 

3D 표면 거칠기 측정에 최적화

WLI 방식의 특징인 Z축 피에조 드라이브를 이용한 정밀한 데이터 수집이 가능
높은 컨트라스트와 서브마이크론 해상도의 고품질 이미징 솔루션

 

 

 

빠른 스캔 속도로 인라인 공정에 최적화

스캔과 데이터 도출 속도가 빨라 실시간 측정이 필요한 인라인 공정에 최적화
제조 현장 맞춤형 H/W로 다관절 로봇 이용한 검사 어플리케이션에 유리

 

고객 맞춤 커스터마이징 S/W

원클릭 자동화 인터페이스와 SDK 및 통합 툴킷 제공으로 강력한 사용자 중심 소프트웨어 구축
합불, 통계 등 워크플로우 기반의 직관적인 데이터 분석 및 시스템 제어 가능